日本爱发科油扩散真空泵 ULK 系列维修保养

特点

设计为高临界背压。
单台可以抽到〜10-2 Pa (10-4 torr)，性能非常稳定。
采用了罗茨法兰口。(除了ULK-04A、06A)
清洁非常方便。(部品的分解也非常简单)
具备辅助泵侧的油液反流防止机构日本爱发科油扩散真空泵  ULK 系列维修保养​
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